射频MEMS优点| RF MEMS缺点
该页面包括RF微机电系统的优点和缺点。它提到了RF MEMS RF微机电系统优点和缺点。射频MEMS代表射频微电子机械系统。
MEMS设备是利用微加工技术制作的。它是半导体器件制造的发展过程。有两种方法,MEMS集成viz.表面微加工和微加工。
射频MEMS的优势
以下是该射频MEMS的优势:
➨MEMS设备机电组件在微尺度。
➨MEMS设备制造使用IC批处理方法,因此小尺寸达到纳米毫米尺寸。通常他们在20微米到1毫米大小。
➨非MEMS设备提供更好的性能比较。MEMS器件提供低插入损耗、高Q和利用当前操作非常低。
➨它最小化能源和材料的使用,从而降低成本。
➨各种射频组件如射频开关、相移、陀螺仪、加速度计、传感器、振荡器、过滤器、射频天线已经开发使用这种技术。这些,RF MEMS开关用于测试和测量应用程序由于低开关时间,较低的插入损耗和高的隔离特性。图中描述了RF MEMS开关。
➨RF MEMS设备广泛应用各个行业包括汽车(测量轮胎压力、燃油压力、油压等),生物医学植入(血压传感器,传感器等)、电子、电信、国防等。
➨MEMS设备用于喷墨打印机和喷墨打印机。
➨它有助于改善re-producibility、灵敏度、准确性和可靠性。
➨MEMS装置很容易改变地区比较其宏观。
请参考射频MEMS基础知识> >为更多的信息。
射频MEMS缺点
以下是该射频MEMS缺点:
➨MEMS装置不能处理非常高功率由于其规模和施工的材料即文章。射频科学家正在探索开发射频MEMS设备更好的材料质量和能力承受高功率。
➨最初的建立需要巨大的投资。
➨多晶硅中使用的建筑是一种脆性材料。
➨设计过程涉及复杂的程序/过程。
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